دستگاه کاشت یونی  دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران - مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما

نام انگلیسی :

آخرین وضعیت دستگاه :

محدودیت های دستگاه :

انرژی 30 کیلو الکترون ولت، یونهای کاشت شونده (آرگون و نیتروژن)، سطح مقطع باریکه یونی (در محل برخورد با نمونه) بیضی با قطر کوچک 10 سانتی متر و قطر بزرگ 25 سانتی متر؛ باریکه یونی کل 5 تا 15 میلی ولت، چگالی جریان (در محل برخورد یون با نمونه ) 50 تا 100 میکرو آمپر بر سانتیمتر مربع